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為了保證凈化工程的潔凈度，確保產(chǎn)品質(zhì)量，需尊從以下規(guī)程：
1.凈化工程應(yīng)保持清潔，房間內(nèi)不得有明顯顆粒物存在，每天都必須進(jìn)行清潔打掃，清潔時(shí)應(yīng)由身著凈化工程潔凈工作服的人員先擦洗地面、墻面、天花和設(shè)備，然后用不產(chǎn)塵的干凈抹布擦拭潔凈室。
2.凈化工程于該區(qū)域生產(chǎn)操作人員和經(jīng)批準(zhǔn)的人員進(jìn)入，非經(jīng)允許嚴(yán)禁人員隨便出入，并且人員進(jìn)出時(shí)要注意隨時(shí)關(guān)門。
3.人員必須經(jīng)風(fēng)淋室吹淋至少15秒后方能進(jìn)入潔凈室，在更衣間，應(yīng)脫掉外套換潔凈服和潔凈帽和潔凈鞋以及口罩，潔凈工作服應(yīng)選用質(zhì)地光滑、防靜電、不脫落纖維和顆粒性物質(zhì)的材料。
4.穿潔凈服時(shí)應(yīng)注意的事項(xiàng)有：衣扣應(yīng)扣緊，不得把內(nèi)衣翻露在外，且凈化工程潔凈工作服要經(jīng)常清洗。
5.潔凈室內(nèi)工作人員應(yīng)盡量減少走動，減少氣流干擾，不得化濃妝和佩帶外飾物，操作人員好戴潔凈手套進(jìn)行操作。在工作活動中，要禁量考慮減少發(fā)塵量。
6.所有物品必須進(jìn)行擦拭（洗）干凈方可進(jìn)入潔凈室，物品應(yīng)經(jīng)傳遞窗或風(fēng)淋室緩沖后再進(jìn)入潔凈室。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵室在安裝管道和線路的時(shí)候，如果需要焊接作業(yè)，應(yīng)該準(zhǔn)備好消防滅火設(shè)備和石棉板等，發(fā)生危險(xiǎn)情況，可以及時(shí)處理。在安裝管道和線路要嚴(yán)格安裝規(guī)范進(jìn)行施工，安裝后還需要測試安裝質(zhì)量，一般是使用水壓進(jìn)行試驗(yàn)，如果不允許使用水壓進(jìn)行測試，可以采用氣壓進(jìn)行測量，也應(yīng)該做好安全防護(hù)工作。如果和原有管道進(jìn)行連接，先要了解管道的特性，安裝工作應(yīng)該由專業(yè)的施工人員進(jìn)行操作，并配備消防滅火器材。如果管道輸送的是高純度的氣體和液體，嚴(yán)格按照規(guī)范進(jìn)行施工外，還需要對管道進(jìn)行清洗、吹掃后對純度進(jìn)行測試。
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